型号

ArF

KrF

XeCl

波长

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

预电离

火花

标准脉冲能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100

5 W
10 W
20 W

8 W
20 W
35 W

6 W
15 W
25 W

重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

20 Hz
50 Hz
100 Hz

脉宽

17 ns

20 ns

20 ns

脉冲稳定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束发散角

1.5 x 4.5 mrad

时间抖动

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100

风冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA

气体

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows