SuperATW 超薄窗口，10mm2 活区；
在MnKα 处的分辨率: 优于133eV；
自动液氮水平监视器以及报警系统；
分析元素范围：Be4-U92
不使用能谱仪时无需加液氮，即真正的热循环探测器；
专利的探测器自动优化装置，除污染技术确保轻元素性能长期优良；
高性能，低噪声，专利的 FET 场效应管 x-sight 电荷复位技术；
牛津仪器公司90%的探测器实测分辨率为125-130eV
牛津仪器公司探测器优异的超轻元素分辨率表现

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操作简单易行，只需几步即可完成分析； 

高度智能化，操作者无需经验即可操作，并得到高质量的分析结果；
而且只需通常的1/3 工作时间 ( 从启动到***终报告)。
收谱过程实时自动识别并标注元素峰位，可任选元素的K，L，M线系标定,采用标准样品谱库进行谱峰拟合，元素标识为唯***解。

可在电子图象和能谱谱图上使用中文或英文标注特征 (相或颗粒) 的名称和编号，使实验结果清晰明了。
多谱比较： 可将多个区或点的谱，沿Z轴排列，进行比较 　
定量分析采用XPP修正方法, 结果比传统的ZAF或PRZ方法修正误差小2/3

元素面分布SmartMap的特点是：全息数据采集，即***次扫描，从B4-U92全部数据采集，多次重复调用。如果在实验结束后发现漏掉某些元素或特征，无需重新开启SEM和EDS，只需打开电脑，即可得到全部所需数据 ( 如任何点的定量，线/面扫描，特征分析等 )。
INCA Energy 预先设置四十多种专业的实验报告格式任选，也可自行简单地以模块化形式编辑或创建实验报告格式，单键即可将实验报告转变成 Microsoft Word形式。