MEMS连续表面可变形反射镜
Alpao变形镜是***款使用电磁驱动器的高速、高线性度和大波前调制量的连续反射面变形镜，小巧紧凑的结构设计配合Alpao优异的自适应系统控制算法，能够很好地满足快速、准确的波前校正需求。
MEMS连续表面可变形反射镜核心特点:
l 可修正低***次大相差
l 可修正高***次相差
l 高达80μm PtV大波前调制量（>120μm可选）
l 相邻驱动器调制量>5μm PtV
l 高分辨率波前畸变校正
l 500μs快速响应
l 优于97%的高线性度
l 优于±1%的高稳定性
l 高品质镀膜
l ±1V低电压驱动电路
l 平均功耗<10W
l 体积小巧，安装方便
MEMS连续表面可变形反射镜型号及参数：
Model | DM69 | DM88 | DM97-08 | DM97-15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 |
Number of actuators | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
Pupil diameter | 10.5 mm | 20.0 mm | 7.2 mm | 13.5 mm | 37.5 mm | 24.5 mm | 33.0 mm | 45.0 mm |
Pitch | 1.5 mm | 2.5 mm | 0.8 mm | 1.5 mm | 2.5 mm | 1.5 mm |
Maximum mirror best flat in close loop | 7.0 nm RMS (no print through effects) |
Minimum tip/tilt stroke (PV, wavefront) | 60 μm | 40 μm | 80 μm | 60 μm | 40 μm | 15 μm |
Minimum focus/astig. stroke (PV, wavefront) | 40 μm | 30 μm | 40 μm | 40 μm | 30 μm | 10 μm |
Minimum 3x3 stroke (PV, wavefront) | > 25 μm | > 10 μm |
Maximum settling time (at +/-1 0%) | 800 μs | 1.6 ms | 800 μs | 1.6 ms | 500 μs |
Minimum bandwidth* | > 750 Hz | > 400 Hz | > 750 Hz | > 400 Hz | > 2 000 Hz |
Minimum frequency at phase lag of 45° | > 500 Hz | > 300 Hz | > 500 Hz | > 300 Hz | > 1 500 Hz |
Hysteresis error | <2% |
Nonlinearity error | <3% |
Coating* | 银膜R>96.5%@0.5μm~2μm |
Operating temperature | -10 to 35°C |
备注*：带宽及反射膜均可根据客户实际需求定制。
沪公网安备31011502016460号
