OREL 3D CT 固定射线检测系统可用于微电子产品,特别是对无线电电子产品的缺陷检测。
OREL 作为***个缺陷检测系统可用于检验多层 PCB 产品,亦可用作 BGA 和 μBGA 装置。
3D-CT 系统是 OREL 的升***版。
技术参数:
几何放大率 | 2000 倍 |
样品尺寸 | 500 x 500 mm |
像素 | 10 micron |
高压范围 | 20 – 150kV |
阳极电流范围 | 60 – 120 mkA |
控制模式 | 自动 / 手动 |
显像屏尺寸 | 300 x 400 mm |
对焦系统 | 全自动电磁 |
系统尺寸 | 1331 x 1306 x 1910 mm |
系统重量 | 1325 kg |