美国OAI 458用于高强度步进式晶片曝光机的紫外线高强度和能量计
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产 地：更新时间：2021-01-19 10:32
品 牌：型 号：OAI 458
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美***OAI公司458型紫外光度计
用于高强度步进式晶片曝光机的紫外线高强度和能量计基于微处理器的458型紫外线光强和能量系统准确地测量曝光能量（剂量），以评估步进器的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和超技术高强度晶片步进器。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 mW/cm²、999.9 mJ/cm²）。可选的RS232电缆可与458软件***起工作，将测量数据发送到计算机。
应用
458型非常适合各种需要精确测量紫外线能量的行业，适用于任何需要重复、可靠的紫外线测量的应用。特别适合于芯片生产中的需要。
硬件特点：
平均至多9次曝光
数字显示提供清晰、NIST可追踪的测量结果
测量强度、时间和能量
记录***系列曝光的偏差百分比
探针波长显示有助于防止设置错误
简单的按钮操作提供可靠的结果
下载并记录分析仪测量结果的RS 232输出
可拆卸探针，以匹配许多光敏电阻的光谱响应。
显示读数可能冻结
前面板提醒提示用户
坚固的铝制外壳，手柄和探针袋方便携带
备注：365、400、420和436 nm传感器根据自己的需要选择***个要单独购买；R-232线缆（只有购买线缆，才可进行数据下载）也要单独购买。
主机和探头定期（1-2年）进行校准，目前只能返厂校准，有费用产生。
沪公网安备31011502016460号
