飞秒激光器FX-系列
・ 光束质量： M2 < 1.5
・ 脉冲能量达 100μJ
・ 脉宽 600fs
・ 峰值功率达 160MW
・ 脉冲重复频率达 50MHz
・ 平均功率达 200W
・ 波长 1030、 515、 343nm
飞秒激光器FX-系列参数
型号 | FXxxx-1 | FXxxx-2 | FXxxx-3 |
波长（nm） | 1030 | 515 | 343 |
光束质量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 |
平均功率（W） | 200 | 100 | 30 |
重频频率（MHz） | 50 | 50 | 50 |
单脉冲能量（uJ） | 100 | 50 | 15 |
*小脉宽（fs） | 600 | 600 | 600 |
能量稳定性（%）rms | 2 | 3 | 3 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑椭圆度（远场）[%] | <10 | <10 | <10 |
光斑直径（mm） | 3 | 3 | 3 |
发散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 226 |
预热时间（min） | 15 | 20 | 30 |
飞秒激光器FX-系列主要应用市场：
・ 光伏产业，如:硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
・ 印刷工业，如: 印刷轮雕版
・ 显示领域，如: 构造导电层，横向连续硅结晶
・ 电子行业，如: 印刷电路板的钻孔和切割
・ 汽车行业，如: 燃油喷射阀门的制造
・ 工具制造和机械工程，如: 三维快速成型
沪公网安备31011502016460号
