高功率DPSS纳秒激光器
InnoSlab短脉冲和超短脉冲激光器标准产品包括以下各种电光调Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介质, 具有不同的脉冲能量、输出功率和波长:
・ 
光束质量: M2 < 2
・ 脉冲能量可达到 60mJ
・ 脉宽可达到 4ns以下
・ 峰值功率可达到 7MW
・ 脉冲重复频率可到 150 kHz
・ 平均功率可达 600W
・ 波长 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的***个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到***维线状平顶以及两维方形平顶等等。
高功率DPSS纳秒激光器应用领域：
・ 光伏行业，例如硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
・ 显示领域，如导电层的织构化和玻璃切割
・ 玻璃工业，如微钻孔和高速亚表面内雕
・ 电子工业，例如对印刷电路板的切割和钻孔
・ 工具制造和机械工程，如三维烧蚀快速成形
面板切割 微结构加工 航空材料加工
高功率DPSS纳秒激光器技术参数
型号 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波长（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束质量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
重频频率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
单脉冲能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
*小脉宽（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量稳定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑椭圆度（远场）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直径（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
发散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
预热时间（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
沪公网安备31011502016460号
