l 真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两***双频激光干涉仪的生产商，德***耶拿尔公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生产制造，绝非为了降低成本而在第三方******进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上******将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，***小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，*多可实现六轴联动。
沪公网安备31011502016460号
