JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪，是世界上******将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪，不仅能够精确的测量数控机床的几何量，如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等，还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。上图为***个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统，光束由激光头发出后进入干涉镜，3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分：
信号光束1用于位移的测量，信号光束2用于俯仰角的测量，信号光束三用于偏摆角的测量。
所有的光束照射到被测物体（3-轴反射镜固定在被测物体上）后再次反射到干涉镜上，每个信号光束与反射的光束进行干涉，然后干涉光束传输到激光头里，进行信号分析后进入到软件里。
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| 三轴测量软件（位移、偏摆和俯仰角） | 三角关系的设定 |
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| 测量结果的统计 | 在位置5开始测量 |
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| 位移和角度的完全测量 | ISO230数据统计标准 |
由本公司代理，德***耶拿尔
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系统应用简介.pdf
沪公网安备31011502016460号
