激光干涉仪是激光的应用，它以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪除了可以用来测量长度以外，如果配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

    1960年，Maiman研制成功台红宝石激光器，从此，激光干涉测量被广泛地用于长度、角度、微观形貌、转速、光谱等领域，并和微电子技术、计算机技术集成，成为现代干涉仪。

    1982年，G·Binning和Rohere研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，1986年获得诺贝尔奖，从此开始了干涉仪向纳米、亚纳米分辨率和精度前进的新时代。

    由于激光具有极好的时间相干性，因此，据此研发了多种激光干涉仪，包括单频激光干涉仪、双频干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、X射线干涉仪等。

深圳市中图仪器科技有限公司于2015年上半年在***内推出高性能重大产品——SJ6000激光干涉仪。此款仪器在第十四届中***机床展上***次亮相后，便备受业内人士的关注，相信对激光干涉测量技术的发展有着积极的推动作用。

 SJ6000激光干涉仪显著特点
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用美***高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm***

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到***个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合***内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了***外仪器的水准，价格是***内仪器的良心价。

 四.sj6000激光干涉仪技术参数

技术线性测长精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光稳频精度：0.05ppm

分辨率：0.001um