测量仪 三坐标测量仪是指在***个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“***种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。编辑本段三坐标测量介绍（1）介绍

　　三坐标测量机的生产厂***有很多，比如3DFAMILY、ZEISS（蔡司）、HEXAGON（青岛海克斯康）、EUROTONE（上海欧潼）、WENZEL（温泽）、Mitutoyo（三丰）、佛迪、雷顿、爱德华、西安力德、思瑞等。

（2）机型介绍

　　行 程： X轴 2500 mm 　　Y轴 1500 mm 　　Z轴 1000 mm 　　结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构 　　传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承 　　长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm 　　测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针 　　机 台：高精度（00***）花岗岩平台 　　使用环境：温度（20±2）℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h 　　空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa 　　空气流量：25 L/min 　　长度精度MPEe： ≤2.1+L/350 （μm） 　　探测球精度MPEp： ≤2.1μm

（3）主要特征

　　1.三轴采用天然高精密花岗岩导轨，保证了整体具有相同的热力学性能，避免由于三轴材质不同热膨胀系数不同所造成的机器精度误差。 　　花岗岩与航空铝合金的比较 　　： 　　1）铝合金材料热膨胀系数大（参数见下表）。***般使用航空铝合金材料的横梁和Z轴在使用几年之后，三坐标的测量基准——光栅尺就会受损，精度改变。 　　材料 比重

（kg/dm³） 热膨胀系数

（1/K） 截面导热率

（W/mK）

钢 7.80 10.4X10 42-63

航空铝合金 2.90 23.8X10 210

陶瓷材料 3.40 8.0X10 28

花岗岩 2.77 6.5X10 3.5

2）由于三坐标的平台是花岗岩结构，这样三坐标的主轴也是花岗岩材质。主轴采用花岗岩而横梁和Z轴采用铝合金等其他材质，在温度变化时会因为三轴的热膨胀系数不均同而引起测量精度的失真和稳定。 　　2. 三轴导轨采用全天然花岗岩四面全环抱式矩形结构，配上高精度自洁式预应力气浮轴承，是确保机器精度长期稳定的基础，同时轴承受力沿轴向方向，受力稳定均衡，有利于保证机器硬件寿命。 　　3. 采用小孔出气专利技术，耗气量为30L/Min，在轴承间隙形成冷凝区域，抵消轴承运动摩擦带来的热量，增加设备整体热稳定性。采用欧潼小孔出气的技术，使得冷凝效应恰恰抵消测量中因为空气摩擦产生的微弱热量，使得设备保持长时间的温度稳定性，从而保证精度稳定性！气浮轴承 欧潼的四面环抱轴承技术，保证驱动平顺稳定 三面气浮轴承 两面或三面环抱 每分钟 耗气量 30L/MIN 150L/MIN 70L/MIN 主支撑 高于台面，中心低，比较粗短，运行稳定，程度减少阿贝误差 主支撑和台面相平，细长，重心高，运行时候阿贝误差较大 ​ 

4. 三轴均采用英***RENISHAW原装镀金光栅尺，分辨率为0.1um；同时采用***端固定，***端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形。 　　5.传动系统采用***际先进的设计，无任何导轨受力变形，程度保证机器精度和稳定性。采用钢丝增强同步带传动结构，有效减少高速运动（增加）时的震动，具有高强度，高速度及无磨损特点。 　　6. 软件为PTB全面认证的业界标杆RATIONAL-DMIS，功能强大，简单易学，让你更专注于产品测量而不是学习软件。