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商品编号：79145

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产地：更新时间：2021-01-18 19:43

品牌：型号：SR300

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系统配置：

· 型号：SR300

· 探测器： 2048像素的CCD线阵列

· 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯

· 光传送方式：光纤

· 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小

· 软件： TFProbe 2.2版本的软件

· 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

· 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率

· 电脑硬件要求：P3以上、50 MB的空间

· 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A

· 保修：***年的整机及零备件保修

规格：

· 波长范围：400到1100 nm

· 光斑尺寸：500μm至5mm

· 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm

· 基板尺寸：*多可至50毫米厚

· 测量厚度范围^*：20nm〜50μm

· 测量时间：*快2毫秒

· 精确度^*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

· 重复性误差^*：小于1 Ǻ

产品特点