翘曲度测量仪是特别为半导体晶圆（wafer）和太阳能电池（solar cell）的翘曲度（warp） 和弯曲度（bow）以及表面形貌（topography）的测量而设计，可以测量晶圆翘曲度（wafer warpage） 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率.

是全球范围内功能强大的仪器，***套仪器可以测量：热沉，晶圆（wafer）,太阳能电池和玻璃的 翘曲度，应力以及表面形貌。
适合光伏电池翘曲度测量,太阳能电池翘曲度,晶圆翘曲度测量,硅片翘曲度测量,晶片翘曲度测量。

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这套翘曲度测量仪,翘曲度检测仪,翘曲度测试仪既适合科研单位使用，也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。

我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪：
1. 非反射型：适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带（wafer tape），图案化晶圆 /图样化晶圆（patterned wafer），粗糙的晶圆的应用；
2. 高反射型： 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。

主要特点：
× 适合不同尺寸的晶圆检测，从0.5’‘到12＇＇的直径；
* 标准检测能力为： 每小时可检测2000个晶圆或更多太阳能电池；
× 同时测量多个晶圆或太阳能电池；
× 测量镀膜后的晶圆或solar cell;
* 分析太阳能电池或晶圆应力和张力；
*  对晶圆表面进行图像分析；
* 测量图案化晶圆或非图案化的晶圆；
*  具有太阳能电池的量子效率测量选项供选择

主要参数：
× 翘曲度测量范围：1-20微米；
* 重复精度： 百分之0.5 （1 sigma）;
* 给出结果：曲率半径,晶圆弯曲高度，翘曲度，测量日期和时间；
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A （可选项）；
*光源：根据用户的应用而配备不同光源；
* 探测器：高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件；

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