二次元,2d影像测量仪
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产 地:更新时间:2021-01-18 19:06
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重现性 | <0.002MM | 外形尺寸(L×W×H) | 541×460×705mm |
解析力标准 | 0.4um | 台面大小 | 460×313mm |
位移驱动 | 0.1um | 机台重量 | 80kg |
线性精度 | ±(2+L/150) um | 放大倍数 | 15X-100X |
精度 | ±2um | 台面荷重 | 36kg |
X行程 | 200mm | 测量速度 | 500mm/min |
Y行程 | 100mm | CCD | SONY高清晰 |