产品介绍
特点•采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到*小。•采用分辨率为 0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下 11 米处的高精密工厂制造。•通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到。•使用有限元方法 （Finite Element Method） 分析优化主机的机械结构。•稳定的几何量精度 .性能参数型号 ULTRA QV404 PRO测量范围 X 轴 400mmY 轴 400mmZ 轴 200mm分辨率 0.01µm高灵敏度 CCD 照相机 黑 白精度 *（20ºC±0.2ºC）E1XY （0.25 L/1000）µmE1Z （1.5 2L/1000）µm[（1 2L/1000）µm: 10 - 60mm]E2XY （0.5 2L/1000）µm驱动速度 （X/Y/Z 轴） 150mm/sec照明（PRL: 可编程环形照明）表面 卤素灯轮廓 卤素灯PRL 卤素灯放大倍率转换系统 可编程电动转盘工作台玻璃尺寸 493 x 551mm台面承重 40kg尺寸 （W x D x H）** 1200 x 1735 x 1910mm重量 ** 2150kg