产品特点：

Ø 高品|之光Wc釉o需防震桌。 

Ø 襞莞Q容易，客艨勺孕胁僮鳎o需校正。 

Ø FFT-在梅治錾希沙EAx原本的回w分析，增加了傅利~的分析方式，可Σ煌牟牧吓c厚度使用，User使用上更楸憷c快速.

Ø 具有Analyzer Tracking功能，可大幅提N量y精度，cPEM之效果相同。

Ø 可搭配反射x使用，可於日後Upgrade

Ø 可量y透明基板，o需背後怼 

Ø 可Upgrade in line量yO洹

Ø 裼妹M口光Vx，量y速度快。

Ø 使用步MR_K非Rotating Polarizer，避免R答p摹 

Ø 固定量y角度-70度，可避移r所造成的量y`差cC械p害（光Wx器都p少移）。 

Ø 性r比O佳，品|及量y能力可_到世界***流水剩溆DEMOx器，可供客施操作比^。

技术参数：

波L:350nm-1050nm

快速全自恿y 

精密量y膜厚及折射率 

各N功能材料的光W常y量和光V特性分析 

E稻:  Q0.01for Tan （ψ）;  Q0.01 for Cos （Δ）

直接y量透明基板上之膜，o需基板背面砘蛉竞

量测范围：15Å-severaol um

量测应用： 
       - 太阳能电池、LED镀膜、新材料镀膜
       - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
       - SEMI: 
       - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
       - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …