SGC-2 自动椭圆偏振测厚仪
仪器介绍:
椭圆偏振法测量的原理很早就已提出,相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新,使得椭圆偏振法成为重要的测试手段,并广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域。其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法*基本、*重要的应用 。
仪器特点:
●仪器采用消光式椭圆偏振方式测量
●精度高、自动控制
●光源采用氦氖激光,波长精度高
●仪器采用USB接口与电脑连接
●配套软件对采样数据具有多种处理方式,适用于不同需要
●软件有完整版及学生版两种版本,适于教学要求
技术指标:
编号 | 名称 | 参数 |
1 | 测量范围 | 1nm~4000nm |
2 | 测量*小值 | ≤1nm |
3 | 镀膜折射率范围 | 1.300~10.000 |
4 | 入射角 | 40°~90° 误差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角读数范围 | 0°~180° |
6 | 偏振器步进角 | 0.0375°/步 |
7 | 测量精度 | ±0.5nm(10nm,±0.5nm) |
8 | 光学中心高度 | 75mm |
9 | 工作台直径 | φ10mm~φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |