SE1000 全光谱椭偏仪

(TABLE TOP SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER)

SEMILAB 光谱型椭偏仪是多功能薄膜测试系统，适合各种薄膜材料的研究。

产品描述

SE-1000型椭偏仪采用手动变角装置来设定测试的入射角，样品台也采用手动方式，在测试的准确性和灵活性与SE-2000保持***致的情况下，为客户提供了***款极具竞争力的椭偏测试设备。另***方面，SE-1000型全光谱椭偏仪采用了*新设计的光学部件以及*新版本的测试分析软件（SAM/SEA），极大地提高了设备的运行稳定性和数据处理能力。

与SE-2000平台***样，SE-1000全光谱椭偏仪同时也是***个多功能测试平台，采用模块化的设计，可集成FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能，用户可根据测试需求合理选择搭配功能。

产品特点

业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和***椭圆偏振测试技术标准

针对研发及实验室测试设计，能降低测试成本

模块化设计，可综合监控样品光学和电学特性

定期免费升***SOPRA材料数据库

开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单

主要应用

光伏行业：薄膜电池透明导电膜、非晶硅微晶硅薄膜电池、CIGS薄膜电池、CdTe薄膜电池、有机电池、染剂敏感太阳能电池

半导体行业：High-K、Low-K、金属、光刻工艺、半导体镀膜工艺、外延工艺

平板显示行业：TFT、OLED、LTPS、IGZO、彩色滤光片

光电行业：光波导、减反膜、III-V族器件、MEMS、溶胶凝胶

主要技术指标

手动变角范围：45°-75°（*小步进5°）

光谱范围：245-990nm

样品尺寸： 200mm

厚度测量范围：0.01nm-50um（取决于样品类型）