测量方法

PEM双重锁定方式、光伺服/光参照控制方式

分光器

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双单色器
  自动波长驱动装置

双单色器

（260～900nm）
  单单色器

（900～1700nm）
  自动波长
  驱动装置

单单色器
  自动波长
  驱动装置

双单色器
  自动波长
  驱动装置

测量波长

He-Ne激光
  (632.8nm)

He-Ne激光 (632.8nm)
  Xe光源
  (260～860nm)

He-Ne激光
  (632.8nm)
  Xe光源

(240～700nm)

He-Ne激光
  (632.8nm)
  Xe光源

(26～900nm)
  卤素灯

(900～1700nm)

Xe光源
  (350～800nm)

He-Ne激光
  (632.8nm)
  Xe光源
  (260～860nm)

入射 　角范围

40b～ 90b
  连续自动设定
  （0.01b间隔）

45b～ 90b
  连续自动设定
  （0.01b间隔）

40b～ 90b
  连续自动设定
  （0.01b间隔）

膜厚测量范围

0～99999?

测量时间

1msec以上

20μsec～16sec

测量准确度^*

屈折率　±0.01

膜厚　±1?

消衰S数　±0.01

*准确度是指测量时间100msec以上。另外、根据表面状态、膜质不同准确度也不同。

样品室

样品垂直放

样品水平放

样品垂直放

检测器

检光子（Glan-Taylor棱镜）
  紫外可见区域：光电子倍管　近红外区域：InGaAs-PIN光电二极管（M-240）