TESCAN超高速聚焦离子束系统FERA3

世界个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3，提供了超高离子束束流（束流为2μA），其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料，FERA3型仪器是***个不错的选择。

新***代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了*新的技术优势，例如：改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快，带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统，内置的编程软件等。

FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求，其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为***的分析工具。

现代电子光路

• 独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics?）设计提供了许多工作与显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing?），可模拟和优化电子束

• 全自动的电子光路设置与合轴

• 成像速度快

• 使用3维电子束技术可获取实时立体图像

• 三维导航

高性能离子光路

• 高性能的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又精确

维修简单

现在保持电镜处在***的状态很简单，只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率化，操作*简化。

自动操作

电镜除了可以自动化设置外，还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言（Python）可进入软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

• 用户界面友好的操作系统基于Windows?平台，多用户和多语言操作界面

• 同时的FIB/SEM成像，易于操作

• 实时图像支持多窗口模式，可自定义实时图像参数

• 图像处理，报告生成，在线与离线图像处理

• 项目管理软件

• 内置的自动诊断（自检）

• TCP/IP远程控制，网络操作与远程进入/诊断

• 免费升***软件

TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统（XM）

分析潜力

• 高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪声的图像

• 选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像

• 三透镜大视野观察（Wide Field Optics?）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing?）可模拟和进行束斑优化

• 成像速度快

• 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology C BDT）可获取高分辨率图像（选配）

• In-Beam背散射电子探头，用于在小工作距离下得BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品

• 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

• 完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

• 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。

• 自动的电子光路设置和合轴

• 网络操作和内置的远程控制/诊断软件

• 3维电子束技术提供实时立体图像

• 低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品

• 独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应超低

• 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

• 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

• 高束流下超高的铣削速度和卓越的性能

• FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图像采集、存档、处理和分析功能

FERA3配置

FERA3 XMH

是***款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，在真空模式下工作。

FERA3 XMU

是***款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束（i-FIB）场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。

软件（标配）：

• 测量

• 图象处理

• 3维扫描

• 硬度测量

• 多图像校准

• 对象区域

• 自动关机时间

• 公差

• 编程软件

• 定位

• 投影面积

• EasySEM^TM

配件：

• 二次电子探头

• 背散射电子探头

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• TOP-SIMS

• 二次离子探头

等，各种配件可供选择