电子光学
• Elstar 超高分辨场发射扫描镜筒，配有：
– 浸没式电磁物镜
– 高稳定性的肖特基场发射电子枪，用于提供稳定高分辨率分析电流
• SmartAlign：自动合轴技术
• 带极靴保护的 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品
• 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔
• 静电扫描，提高偏转线性度和速度
• Thermo Scientific™ ConstantPower™ 透镜技术，获得更高热稳定性
• 集成快速电子束闸*
• 电子束减速，样品台偏压 0 V 到 -4 kV*
• 电子源寿命至少 12 个月
电子束分辨率
• 在*佳工作距离下：
– 30 kV 下STEM 0.6 nm
– 15 kV 下 0.6 nm
– 1 kV 下 1.0 nm
– 1 kV 下 0.9 nm (电子束减速模式) *
• 在束重合点：
– 15 kV 下 0.6 nm
– 1 kV 下 1.5 nm(电子束减速模式 * 及 DBS 探测器*）
电子束参数
• 电子束流范围：0.8 pA - 176 nA
• 加速电压范围：200 V - 30 kV
• 着陆能量范围： 20 eV * - 30 keV
• 水平视场宽度：4 mm 工作距离下为 2.3 mm离子光学
Tomahawk HT 离子镜筒，卓越的大束流性能
• 离子束流范围：1 pA – 100 nA
• 加速电压范围：500 V - 30 kV
• 两***差分抽吸
• 飞行时间（TOF）校准
• 15 孔光阑
• 水平视场宽度：在束重合点处为 0.9 mm
• 离子源寿命至少 1,000 小时
离子束分辨率（在重合点处）
– 30 kV下 4.0 nm（采用统计方法）
– 30 kV下 2.5 nm（采用选边法）
探测器
• Elstar 透镜内 SE/BSE 探测系统（TLD-SE、TLD-BSE）
• Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测系统（ICD） *
• Elstar 镜筒内 BSE 探测系统（MD） *
• Everhart-Thornley 二次电子探测器（ETD）
• 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察
• 高性能电子及离子探测器（ICE），用于采集二次电子和二次离子*
• 样品室内 Nav-Cam 相机，用于样品导航 *
• 可伸缩式低电压、高衬度、定向固态背散射电子探测器（DBS）*
• 可伸缩 STEM 3+ 分割式探测器(BF、DF、HAADF) *
• 集成电子束流测量
样品台和样品
高度灵活的五轴电动样品台：
• XY 范围：110 mm
• Z 范围：65 mm
• 旋转：360°（连续）
• 倾斜范围：-15° 到 +90°
• 样品高度：与优中心点间隔 85 mm
• 样品质量：任意位置处为 500 g（包括样品托）；0°倾斜时可达 5kg；
• 样品尺寸：可沿 X、Y 轴完全旋转时直径为 110mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）
• 同心旋转和倾斜
真空系统
• 完全无油的真空系统
• 样品仓真空（高真空）：< 2.6 x 10-6 mbar（24小时抽气后）
• 抽气时间：< 5 分钟样品仓
• 电子束和离子束重合点在分析工作距离处（ 4 mm SEM ）
• 端口：21 个
• 内宽：379 mm
• 集成等离子清洗
样品托
• 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳 18 个标准样品托架（φ12 mm）、3 个预倾斜样品托、2 个垂直和2 个预倾斜侧排托架（38° 和 90°），样品安装无需工具
• Vise 样品托可夹持不规则、大或中的样品到样品台上
• 各种晶片和定制化样品托可按要求提供*
图像处理器
• 驻留时间范围：25 纳秒 – 25 毫秒/像素
• 65000× 65000 像素
• 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP 或 JPEG 标配
• SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描)
• DCFI (漂移补偿帧积分)
系统控制
• 64 位 GUI（Windows® 10,）、键盘、光学鼠标
• 可同时激活多达 4 个视图，分别显示不同束图像和/或信号，真彩信号混合
• 本地语言支持：请与当地 Thermo Fisher 销售代表联系确认可用语言包
• 两台 24 英寸宽屏显示器 1920 x 1200，用于系统GUI和全屏图像观察
• 显微镜控制和支持计算机无缝共享***套键盘、鼠标和显示器
• Joystick 操纵杆*
• 多功能控制板*
• 远程控制和成像*
支持软件
• “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4 个视图
• Thermo Scientific™ SPI™（同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™（间歇式SEM成像和FIB加工）、iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高***、实时SEM和FIB过程监测和端点测量
• 支持的图形：直线、矩形、多边形、圆形、圆环、截面、清洁截面
• 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积
• 材料文件支持“*短循环时间”、束调谐和独立重叠
• 图像配准支持导入图像进行样品导航
• 光学图像上的样品导航配件*
• GIS（气体注入系统）解决方案：
– 单个GIS：多达 5 个独立单元，用于增强蚀刻或沉积
– Thermo Scientific™ MultiChem™：在同***单元上有多达 6 种化学选项，用于蚀刻和沉积控制
• GIS – 束化学选项**
– 铂沉积
– 钨沉积
– 碳沉积
– 绝缘体沉积II
– 金沉积
– Thermo Scientific™ Enhanced Etch™ （碘、）
– 绝缘体优化的蚀刻(XeF2)
– Thermo Scientific™ Delineation Etch™ （）
– 选择性碳刻蚀（）
– 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料
– 更多束化学选项可按要求提供
• Thermo Scientific™ EasyLift™ 系统用于精确原位样品操纵
• FIB 荷电中和器
• 分析：EDS、EBSD、WDS
• Thermo Scientific™ QuickLoader™ ：快速真空进样器
• 独有的Thermo Scientific™ CryoMAT™ 用于材料科学冷冻应用
• 第三方供应商提供的冷冻解决方案
• Thermo Scientific™ 隔音罩
• Thermo Scientific™ CyroCleaner™ 系统
软件选项*
• Thermo Scientific™ AutoTEM™ 软件，用于自动化 S/TEM 制样
• Thermo Scientific™ AutoScript™ 4 软件，双束自动化套件
• Thermo Scientific™ Maps™ 软件，用于大区域的自动图像采集、拼接和关联
• Thermo Scientific™ NanoBuilder™ 系统：基于CAD (GDSII) 的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备
• AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图像、EDS 或EBSD 图像进行三维重建
• Avizo 三维重建及分析软件
• CAD 导航
• 基于 Web 的数据库软件
• 高***图像分析软件
Thermo Scientific Helios 5 D ualBeam 产品系列凭借其的聚焦离子束和电子束性能、专有软件、自动化和易用性特征，重新定义了样品制备和三维表征的标准。
Thermo Scientifc™ Helios™ 5 CX DualBeam 系统属于业界的 Helios DualBeam 系列的第五代产品，专为满足科学***和工程师的各类分析及研究需求而设计，它将创新的 Thermo Scientific™ Elstar™ 电子镜筒和卓越的 Thermo Scientifc™ Tomahawk™ 离子镜筒有机结合，前者可实现极高分辨率成像和材料衬度，而后者可实现*快速、*简单、*精确的高质量样品制备。系统不仅配置的电子和离子光学系统，还采用了***系列的技术，可实现简单***致的高分辨率 S/TEM 和原子探针断层扫描（APT）样品制备，以及质量的内部和三维表征，即使在*具挑战性的样品上也表现出色。
质量、超薄 TEM 制样
科学***和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Helios 5 CX DualBeam 系统的*新技术创新结合*易于使用、*全面的 Thermo Scientic 专业应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。为了获得高质量的结果，需要使用低能离子进行精抛，以限度地减少样品的表面损伤。Tomahawk HT 聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下进行高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的 TEM 薄片。
沪公网安备31011502016460号
