透射电子显微镜是的提供在较高时间分辨率下得到原子***空间分辨率的实验手段。透射电子显微镜原位力学-电学性能测试系统是在标准外形的透射电镜样品杆内加装扫描探针控制单元，通过探针对单个纳米结构进行操控和力学、电学测量。并可在力学-电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。

　　本系统包括扫描探针控制器（内含电流前置放大器、纳牛力传感器）、原位测量样品杆和高性能电脑与控制软件。各方面指标如下：

。

扫描探针操纵指标

1. 粗调为压电陶瓷惯性步进。粗调范围：XY 方向2.5mm，Z 方向1.5mm。

2. 细调为压电陶瓷扫描方式。细调范围：XY 方向18um，Z 方向1.5um。（细调范

围允许±20%的误差。）

3. 细调分辨率：XY 方向0.3nm，Z 方向0.02nm。

电学测量指标

1. 包含***个电流电压测试单元。

2. 电流测量量程范围1nA-20mA， 9 个量程，*小电流分辨率：10fA。

3. 电压输出范围：±10V 和±150V 两个量程。

4. 自动进行电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

力学传感器指标

1. 悬臂梁弹性系数范围2.5N/m ~ 40N/m。

2. Z 方向位移1.5um，分辨率0.02nm。

3. 载荷分辨率优于0.5nN（使用4N/m 悬臂梁时）。

4. 自动测量力-距离曲线，自动保存。

定制部分

1. 样品载台为可更换形式的力、电载台

2. 可包含***个安装金丝的电学测量样品载台

3. 可包含***个安装铜环样品的电学测量样品载台

注：以上指标可能根据系统配置不同而略有变化