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扫描电子显微镜(SEM)
大样品仓双束电镜 (FIB-SEM)
价 格:询价
产 地:更新时间:2021-01-18 15:06
品 牌:型 号:TESCAN FERA3(XMU/XMH)
状 态:正常点击量:1437
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TESCAN超高速聚焦离子束系统FERA3
世界***个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3,提供了超高离子束束流(束流为2μA),其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料,FERA3型仪器是***个不错的选择。
新***代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了*新的技术优势,例如:改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快,带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统,内置的编程软件等。
FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求,其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为***的分析工具。
现代电子光路
高性能离子光路
维修简单
现在保持电镜处在***的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率化,操作*简化。
自动操作
电镜除了可以自动化设置外,还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。
用户界面友好的软件与软件工具
TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统(XM)
分析潜力
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高亮度肖特基发射可获得高分辨率,高电流和低噪声的图像
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选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像
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三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计
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结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)可模拟和进行束斑优化
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成像速度快
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低电压下的电子束减速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可获取高分辨率图像(选配)
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In-Beam背散射电子探头,用于在小工作距离下得BSE图像(选配),甚至适合铁磁性样品
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全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控
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完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、背散射电子衍射仪(EBSD)
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由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。
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自动的电子光路设置和合轴
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网络操作和内置的远程控制/诊断软件
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3维电子束技术提供实时立体图像
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低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品
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独特的离子差异泵(2个离子泵)使得离子散射效应超低
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聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器
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聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒
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高束流下超高的铣削速度和卓越的性能
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FIB切割、信号采集、3维重构(断层摄影术),3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化
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成熟的SEM/FIB/GIS操作软件,图像采集、存档、处理和分析功能
FERA3配置
FERA3 XMH
是***款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),在真空模式下工作。
FERA3 XMU
是***款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
软件(标配):
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测量
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图象处理
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3维扫描
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硬度测量
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多图像校准
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对象区域
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自动关机时间
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公差
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编程软件
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定位
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投影面积
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EasySEMTM
配件:
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二次电子探头
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背散射电子探头
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In-Beam SE
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In-Beam BSE
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探针电流测量
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压差式防碰撞报警装置
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可观察样品室内部的红外线摄像头
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TOP-SIMS
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二次离子探头
等,各种配件可供选择