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大样品仓双束电镜 (FIB-SEM)

价  格:询价

产  地:更新时间:2021-01-18 15:06

品  牌:型  号:TESCAN FERA3(XMU/XMH)

状  态:正常点击量:1437

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上海非利加实业有限公司

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TESCAN超高速聚焦离子束系统FERA3

 

世界***个完全集成式Xe等离子源聚焦离子束扫描电子显微镜----FERA3,提供了超高离子束束流(束流为2μA),其溅射速度比Ga离子源高50多倍。对于目前浪费时间或不可能进行的需要刻蚀的材料,FERA3型仪器是***个不错的选择。

 

新***代的聚焦离子束扫描电子显微镜为用户提供了*新的技术优势,例如:改进的高性能电子设备使图像采集得速度更快,带有静态和动态图像扭曲补偿技术的超高速扫描系统,内置的编程软件等。

 

FERA3的设计适应各种各样的SEM应用与当今研究和产业的需求,其高分辨率、高电流和强大的软件使TESCAN FIB-SEM成为***的分析工具。

现代电子光路

  • 独特的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计提供了许多工作与显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

  • 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和优化电子束

  • 全自动的电子光路设置与合轴

  • 成像速度快

  • 使用3维电子束技术可获取实时立体图像

  • 三维导航

高性能离子光路

  • 高性能的等离子i-FIB设备使切片和材料的刻蚀既快又精确

维修简单

现在保持电镜处在***的状态很简单,只需要很短的停机时间。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率化,操作*简化。

自动操作

电镜除了可以自动化设置外,还可进行聚焦、调节对比度/亮度等自动操作。除此之外,电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序,能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言(Python)可进入软件的大多数功能,包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析等。通过脚本语言用户还可以自定义自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

  • 用户界面友好的操作系统基于Windows™平台,多用户和多语言操作界面

  • 同时的FIB/SEM成像,易于操作

  • 实时图像支持多窗口模式,可自定义实时图像参数

  • 图像处理,报告生成,在线与离线图像处理

  • 项目管理软件

  • 内置的自动诊断(自检)

  • TCP/IP远程控制,网络操作与远程进入/诊断

  • 免费升***软件

 

 

TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统(XM)


分析潜力

  • 高亮度肖特基发射可获得高分辨率,高电流和低噪声的图像

  • 选配的In-Beam二次电子探头可获取超高分辨率图像

  • 三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

  • 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)可模拟和进行束斑优化

  • 成像速度快

  • 低电压下的电子束减速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可获取高分辨率图像(选配)

  • In-Beam背散射电子探头,用于在小工作距离下得BSE图像(选配),甚至适合铁磁性样品

  • 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

  • 完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDX)、波谱仪(WDX)、背散射电子衍射仪(EBSD)

  • 由于使用了强力的涡沦分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快达到电镜的工作真空。电子枪的真空由离子泵维持。

  • 自动的电子光路设置和合轴

  • 网络操作和内置的远程控制/诊断软件

  • 3维电子束技术提供实时立体图像

  • 低真空模式下样品室真空可达到500Pa用于观测不导电样品

  • 独特的离子差异泵(2个离子泵)使得离子散射效应超低

  • 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

  • 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

  • 高束流下超高的铣削速度和卓越的性能

  • FIB切割、信号采集、3维重构(断层摄影术),3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

  • 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件,图像采集、存档、处理和分析功能


FERA3配置

FERA3 XMH

是***款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),在真空模式下工作。

FERA3 XMU

是***款完全由计算机控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。

 

软件(标配):

  • 测量

  • 图象处理

  • 3维扫描

  • 硬度测量

  • 多图像校准

  • 对象区域

  • 自动关机时间

  • 公差

  • 编程软件

  • 定位

  • 投影面积

  • EasySEMTM


 

配件:

  • 二次电子探头

  • 背散射电子探头

  • In-Beam SE

  • In-Beam BSE

  • 探针电流测量

  • 压差式防碰撞报警装置

  • 可观察样品室内部的红外线摄像头

  • TOP-SIMS

  • 二次离子探头

等,各种配件可供选择


产品参数


产品介绍



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