VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展，TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新***代的VEGA给用户带了*新的技术优势，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。

LaB6发射源

TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

• 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式

• 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"

• 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

• 镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构

• 3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于*佳状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率化，操作*简化。

自动操作

通过***次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

• 用户界面有各种语言版本

• 多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快

• 图像文件管理与报告生成

• 内置的自动系统检查

• 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断

• 模块化软件体系结构

• 标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等

• 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等

VEGA3 LM

VEGA3 LM是***款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

分析潜力：

• LM大样品室、5轴马达驱动样品台

• 样品室有11个接口，适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头

• ***流YAG 闪烁体探头

• 选配包括了各种探头于可选的配件

• 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

• 在可变真空模式下可观测不导电的样品（LMU型号）

• 可选的样品室减振方式

• 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH

高真空式SEM，配备有5轴马达驱动样品台，适用于观测小型导电样品。

VEGA3 LMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品，不需要喷金。

软件（标配）：

• 测量

• 图象处理

• 3维扫描

• 硬度测量

• 多图像校准

• 对象区域

• 自动关机时间

• 公差

• 编程软件

• 定位

• 投影面积

• EasySEMTM

软件（选配）：

根据实际配置和需求

配件（标配）：

• 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

• 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• 冷台等，各种附件可供选择

技术规格：