分辨率

20nm （30kV, BSE Image）

放大倍率

30x~30,000x （有效放大倍率20,000x）

加速电压

5kV to 30kV （5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step）

图像

背散射电子图像- Backscattered  Electron Image

Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

E-T Detector

载物台系统

3轴操控- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°

Image shift

X, Y Image Shift （10um）

样品尺寸

50mm in diameter, 20mm in height

图像扫描速度

快速扫描 （Fast Scan）: 320x240 （Scan time: 0.1 sec.）

低速扫描 （Slow Scan）: 640x480 （Scan time: 3 sec.）

图片模式1（Photo Mode 1）: 1280x960 （Scan time: 30sec.）

图片模式2（Photo Mode 2）: 2560x1920 （Scan time: 60sec.）

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

图像存储方式

BMP, JPEG, PNG

数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

真空系统

全自动型/高者空模式+低真空模式（Multi mode）

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空时间：2分钟以内

操控系统

鼠标和键盘

运行系统

电镜专用笔记本电脑

OS : Microsoft Window 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

软件

图像文件打开，编辑，存储功能

长度，面积，角度等测量功能

设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting（EDS）模式等

体积

设备主机-390（W）×640（D）×560（H）mm……1set

外置真空泵-400（W）×160（D）×340（H）mm …1set

重量

90kg

设备环境

温度：15℃~30℃

湿度：70% or less

电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz