20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~60,000x 

加速电压（Accelerating Voltage）

1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5 step)

图像检测

（Signal Detection）`

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

观察模式 Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统（Electron Gun）

灯丝类型（Filament type）

预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge）

偏压系统（Bias voltage   system）

自动偏压方式（Automatic mode）

电子枪校正

（Electron gun alignment）

手动方式（Manual mode）

透镜构成（Lens system）

聚光镜（Focus Lens）

2段式磁线圈透镜

 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物镜（Objective Lens）

1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic   Objective Lens)

探测器类型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统( Stage System)

 自动或者手动（Auto or Manual）

载物台移动（Stage Traverse）

3轴操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

图像偏移（Image shift）

Image shift   X, Y Image Shift (±150um)

样品MAX尺寸

（Max Sample size）

高度30mm时MAX直径70mm

70mm in diameter, 30mm in height

图像扫描

（Image Scanning system）

快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

（Automatic Function）

自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)

图像存储格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示(Data display)

放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，

Date   and time，Text marker，比例尺(scale bar)等

真空系统（Vacuum system）

 全自动型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic               Multi mode)

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）    Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间(pump down time)：2分钟以内

 (less than 2 minutes)

操控系统(Control unit system)

 鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)

PC：台式电脑（Desk Top）         OS : Microsoft Windows 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB   2.0

软件（Software function）

 图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function)

 长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring)
  设置数值初始化(parameter initialization)，图像拍摄模式转换(Image capture   mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等

体积（   Volume）

 设备主机（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set
  外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

重量   （Weight）

 105kg

设备环境

（Equipment environment）

 温度(Temperature)：15℃~30℃
   湿度(Humidity)：70% or less

 电源(Power source)：     Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz