10nm (30kV, BSE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~150,000x 

加速电压（Accelerating Voltage）

1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

图像检测

（Signal Detection）`

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

观察模式 Observation mode

Standard Mode

Auto mode

电子枪系统（Electron Gun）

灯丝类型（Filament type）

预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge）

偏压系统（Bias voltage   system）

自动偏压方式（Automatic mode）

电子枪校正

（Electron gun alignment）

手动方式（Manual mode）

透镜构成（Lens system）

聚光镜（Focus Lens）

2段式磁线圈透镜

 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物镜（Objective Lens）

1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic   Objective Lens)

探测器类型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统( Stage System)

 自动或者手动（Auto or Manual）

载物台移动（Stage Traverse）

5轴操控或自动操控5 axis System，AUTO

图像偏移（Image shift）

Image shift   X, Y Image Shift (±150um)

样品MAX尺寸

（Max Sample size）

高度35mm时MAX直径80mm

80mm in diameter, 35mm in height

图像扫描

（Image Scanning system）

快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

（Automatic Function）

自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)

图像存储格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示(Data display)

放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，

Date   and time，Text marker，比例尺(scale bar)等

真空系统（Vacuum system）

 全自动型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic               Multi mode)

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）    Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间(pump down time)：2分钟以内

 (less than 2 minutes)

操控系统(Control unit system)

 鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)

PC：台式电脑（Desk Top）         OS : Microsoft Windows 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB   2.0

软件（Software function）

 图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function)

 长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring)
  设置数值初始化(parameter initialization)，图像拍摄模式转换(Image capture   mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等

体积（   Volume）

 设备主机（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set

控制主机（controller）-410(W)×290(D)×520(H)mm……1set  

外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

重量   （Weight）

 105kg

设备环境

（Equipment environment）

 温度(Temperature)：15℃~30℃
   湿度(Humidity)：70% or less

 电源(Power source)：     Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz