仪器简介:
德***徕卡(LEICA)在智能数字式金相显微镜DM4000M基础上提供了6英寸的移动平台,适合半导体行业对硅片检查的要求.智能化的操控与光学品质的结合为半导体行业提供高效率的工具.
技术参数:
• 智能型操作, 智能型照明,
• 恒定色温, 图像无颜色差别
• 反射光明场, 暗场, 偏光, 微分干涉, 荧光
• 透射光明场, 暗场, 微分干涉
• M32 六位物镜转换
• 专用平场消色差, 平场半复消色差暗场物镜, 平场复消色差暗场物镜,
• 可接显微硬度仪, 绘图仪, 宏观仪
• 可接微分干涉台阶仪进行高精度测量
• CCD或照相系统,
• 与多种显微图像分析软件共用
• 可升***为其他观察方法
• 无限远光路
主要特点:
1,智能型按键操作, 实现型照明,智能CICC技术使色温恒定, 图像无颜色差别,更可***记忆并恢复已观察的条件
2,光强,光栏,反射光模块液晶显示屏,显示即时状态
3,手动调焦
4,6英寸硅片专用机械载物台,可配电动.