ASI公司小型电动载物台MS-2000 XYZ 电动载物台
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主要特点: 1、闭环DC伺服电动机 XYZ载物台保证***定位和高的聚焦重复性 2、XY操纵杆广泛的动态速度范围 3、利用ASI's Z-轴驱动 4、Z-轴离合器方便转换手动电动聚焦控制 5、LCD显示XYZ的配合 6、"Zero" 和 "Home" 按钮方便独立操作 7、控制范围
技术指标:
XY移动范围
Upright: 100 mm x 100 mm
Inverted: 114 mm x 90 mm
XY 轴分辨率
0.088 µm
XY 轴RMS可重复性
< 0.8 µm (typical)
XY 轴***大速率
7 mm/sec
Z 轴分辨率
0.05 µm
Z 轴可重复性
± 0.1 µm (typical)
Z 轴***大速率
0.6 mm/sec
MS-2000 Options
为高精度定位和聚焦控制配备的X, Y, & Z 轴线性编码器
大的载物台顶板,方便显微操作
载物台附加侧板,增大空间
CRIFF 持续反馈聚焦系统,专为长时间聚焦
其他可选螺杆
可选螺杆
Lead Screw Pitch Options
Rotary Encoder Resolution
Maximum Speed
12.70 mm (Super-coarse)
176 nm
14 mm/sec
6.35 mm (Standard)
88 nm
7 mm/sec
1.57 mm (Fine)
22 nm
1.75 mm/sec
0.318 mm (Ultra-fine)
4.4 nm
0.35 mm/sec
Standard Lead Screw Accuracy is 0.25 µm per mm.
可选的线性编码器
Axis
Scale Resolution
Scale Accuracy
XY
20 nm
0.5 µm per 10 mm
1.5 µm per 100 mm
Z (12 mm and 25 mm stroke)
50 nm
0.03 µm per mm