超高的基本性能外,更大大提升了观察性、操作性、耐久性
可以观察的大硅片直径为200mm
观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定)
观察性能提升
扩大检查范围的反射荧光观察(L200ND)新
反射照明观察,除可进行明场、暗场、微分干涉观察外,更可进行UV(365nm)激发的反射荧光观察。
对于半导体感光薄膜的残渣、有机EL显示面板的观察发挥了很大的威力。
使用物镜:CFI LU PLAN FLUOR 10X
反射荧光观察用的电动水银光纤光源[INTENSILIGHT](L200ND)
光源采用了预定心电动水银光纤光源[INTENSILIGHT]。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。
灯箱可与主机分离设置,以降低光源发热对显微镜的影响。6段式的调光机能和快门机能,实现了良好的操作性。
约2000小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理环保
比12V100W更亮的高亮度12V50W卤素灯 新
采用了12V50W的[LV-LH50PC预定心灯箱],与12V100W相比,耗电量削减了约半,又可达到与其同等甚至更亮的亮度。
灯丝位置经过优化设计,且灯箱里有反光镜,使照明视场均匀,并提高照明效率。特别是用到50倍以的高倍物镜时,能得到比12V100W亮约20%的观察图象。
更环保,也能防止因热量而造成的焦面偏移的干扰。
抗污染的防静电涂层 新
主机、载物台、镜筒均涂有消静电涂层。为了提高抗污染能力,防止工件因静电感应而受损,从而提高成品率。
可调节到佳位置进行观察的正立调倾式三目镜筒
视场数25的超大视场,可任意设定0~30°的观察角度。根据使用者体型和观察姿势的不同,可将三目镜筒调节到佳位置松随意的进行观察。
载物台微调手轮无需移动工件
不用移动工件,载物台微调手柄位置固定于显微镜主机操作部旁。
所有的操作部都尽在手边,移动载物台、对焦等显微操作,不用抬手,只需动动手腕就可轻松执行。
耐久性比以前高3倍的电动通用物镜转换器 新
多可以安装到6个物镜。和偏心较小的物镜结合使用,用高倍物镜观察时切换倍率也很少会出现图象闪动现象。
从低倍到高倍的自由切换更稳定。考虑到使用者,在旋转物镜转换器时会自动切断照明光路,避免光直接照射使用者眼晴。
对焦目标
对焦目标可移入光路,这特性对于裸硅片类的低对比度工件的正确对焦成为方便。
显微镜操作部位集中于底座前部
操作手轮、按键等,都集中于底座前部,更便于使用。看就能快捷高效的进行显微操作。大大减轻了长时间观察的疲劳感。
获取佳图象,提升与显微镜用数码相机的联动力
实现了从观察到图象拍摄、分析的佳整体化
·尼康开发提供了便于使用的显微镜、数码相机和软件体化的高机能设备系统。
·支持从设定佳观察条件,到数码拍摄→处理→分析的整个流程。
用于LSI检查显微镜 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列
与ECLIPSE L200N相结合,对应新的硅片检查需要。
运用独立的尼康高端技术,稳定传输超薄型100um硅片。
日本尼康L200N/L200ND LSI检查显微镜 Nikon金相显微镜价格
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