主动隔振，主动减振，主动除振，主动防振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台。

AVI-600 WORKSTATION

精密防震工作台，支持纳米技术的*佳解决方案。

产品特点

• 主控频率 1Hz - 200Hz

   

• 被动防振频率  >200Hz

   

• 5-20 毫秒的响应时间

  
  

• 安装简单,容易使用

   

• 能无故障连续使用多年

   

• 紧凑、模块化的多功能设计

产品应用

SEM       TEM

UHV-SPM    光刻

UHV-SPM    光刻

隧道显微镜  隧道显微镜

大型的对震动敏感的仪器

产品优势

系统主动检测输入震动并动态消除

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• 六个角度自由隔振

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• 内部反馈回路抑制所有机械共振

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• 提供***的低频段隔振能力

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• 无低频共振并没有空气要求

精密防震工作台

AVI-600 WORKSTATION是***款紧凑型主动 隔振系统.对升***和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是 理想的选择.AVI-600 WORKSTATION这款设备允许在***定的大 小范围内增设额外的模块以用于支持更大的仪器载重量.(9000磅)

主动隔振，主动减振，主动除振，主动防振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台。