EQP等离子体质量和能量分析质谱仪

主要特点：
・ 软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动*小
   ・ 45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
   ・ 所有能量范围内，离子行程的*小扰动，及恒定离子传输
   ・ 带差式泵的三***过滤四极杆，质量数范围至2500amu
   ・ 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量***的动态范围
   ・ 可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析
   ・ Penning规和互锁装置可提供过压保护
   ・ 信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
   ・ 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
   ・ Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
   ・ 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft

EQP等离子体质量和能量分析质谱仪

技术参数：
应用：
   ・ 蚀刻 / 沉积作用研究
   ・ 离子植入 / 激光烧蚀 
   ・ 残余气体分析 / 泄漏检测
   ・ 等离子体电感耦合，即在操作中遵从电极设定条件
   ・ 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析

EQP等离子体质量和能量分析质谱仪

仪器简介：
Hiden EQP是***台结合质量和能量分析的仪器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。