日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪
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产 地:更新时间:2021-03-16 11:20
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日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪
产品特点
* 适合于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警
产品参数
日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪
参数规格
型号 | XP-703D |
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检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
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检测原理 | 热线型半导体式 |
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采样方式 | 自动吸引式 |
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可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
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检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
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应答速度 | 10秒以内 |
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产品介绍
日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪
日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪,检测对象气体:胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等。