光学NanoGauge C10178-03J

• 详细参数

  型号	C10178-03J
  可测膜厚范围（玻璃）	150 nm to 50 μm*1
  测量可重复性（玻璃）	0.05 nm*2 *3
  测量准确性（玻璃）	±0.4 %*3 *4
  光源	Halogen light source
  光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
  工作距离	10 mm*3
  可测层数	Max. 10 layers
  分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
  测量时间	19 ms/point*5
  光纤连接头	φ12 sleeve shape
  外部控制功能	RS-232C, PIPE, Ethernet
  电源	AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
  功耗	Approx. 230 VA
  测量波长范围	900 nm to 1650 nm
  测量模式（特征）	supports NIR

  
  

  *1 转换时玻璃的折射率是1.5 
  
  *2 测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差） 
  
  *3 取决于光学系统或物镜放大倍数 
  
  *4 测量保证范围同VLSI标准测量保证文件***致 
  
  *5 ***短曝光时间

  产品特性

  ● 高速、高准确性（可测膜厚范围（玻璃）：150 nm-50μm）
  

  
  

  ● 实时测量 
  

  
  

  ● 非恒定膜层的精确测量 
  

  
  

  ● 分析光学常量(n, k) 
  

  
  

  ● 可外部控制 
  

  
  

  ● 可以使用特定附件测量量子产率，反射率，透射率和吸收率

  外形尺寸（单位：mm）

  
  

  
  

  
  

  
  

  

• 产品优势

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  C10178型光学纳米膜厚测量系统是***款利用光谱干涉法测量薄膜厚度的非接触式测量系统。光谱干涉法可以快速、高精度以及高灵敏度地测量出薄膜厚度。C13027使用多通道光谱仪PMA作为检测器，测量各种光学滤光片和涂膜厚度的同时还可以测量量子产率，反射率，透射/吸收率等参数。

  
  

  
  C10178-03J支持NIR（900 nm至1650 nm）。