Diener FEMTO 微波等离子清洗机

德***Diener electronic成立于1993年，是世界低温等离子工业的，是******专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气（常压）等离子清洗机的高科技企业。

规格、参数：

系列

Femto

控制系统

半自动型

PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

1.9~6L

真空腔室

圆形不锈钢件，配有盖子

（大约 Φ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm）

矩形不锈钢件，配有铰链的门

（约宽 103 x 深 285 x 高 103)

配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门

（大约Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm）

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门

（大约 Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm）

配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门

（大约Φ 95 mm，长 280 mm 或者长 600 mm）

电极

单层或多层

RIE

样品支架

（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

电源

供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位

用途： 

Diener等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。 

Diener等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合： 

半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。 

Diener等离子清洗/刻蚀机具有以下特点： 

可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序；不会对操作人员的身体造成任何伤害；其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。