Edwards EXT系列复合涡轮分子泵
BOC Edwards EXT泵适用于除***苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列***般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。
BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为***,使用起来更加方便。OEM或有电源的***终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮,这可以降低成本。另外还具有如下优点:无油(涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染);低维护(无轴承接触,无机械磨损);低振动(比***般轴承的振动低***个数量***);减少冷却(对许多应用来说自然冷却即可);定位任意(可以安装在任意位置)。