压缩比

N2

>1 x 10E8

He

4 x 10E5

H2

1.6 x 10E4

出口法兰

DN25NW

级间口（Hi型）)

DN25NW

前级泵（推荐）

RV3

放气口

1/8 inch BSP 母螺纹

吹扫净化口

1/8 inch BSP 母螺纹

最高入口压力（抽轻气体） *

水冷（水温15°C，大气温度40°C）

5 x 10E-3 mbar

空冷（大气温度35°C）

5 x 10E-3 mbar

额定转速

60000 rpm

工作转速

33000～60000 rpm （缺省 42000 rpm）

转速达到90%所需时间 **

80 s

冷却方式

空冷/水冷

大气温度（空冷）

5-35 °C

冷却水最低流速（水温15 °C）

15 l/h

水温范围

10-20 °C

入口法兰最高温度

TBA

工作姿态

垂直

噪音（1m处）

<50 dB(A)

最大磁场

5 mT

控制器（推荐）

TIC200 涡轮控制器或TIC200涡轮仪表控制器

静止功耗

25 W

级间泵速（Hi型）

10 l/s

泵速 ***

N2

220 l/s

He

230 l/s

H2

180 l/s

极限真空（mbar）

前级泵选用选片泵

<5 x 10E-9

前级泵选用隔膜泵

<5 x 18E-8

重量

6.25 kg