INFICON 真空计设计紧凑,具有卓越的精确性和可靠性。在***个单独的控制器中结合了多项技术,用于全部压力测量和真空过程控制。
·INFICON 陶瓷电容式真空计 (CDG) 在温度和机械稳定性、零点漂移、精确性、可重复性和耐蚀性方面优于所有金属薄膜 CDG。在传统技术的基础上经过创新,INFICON 陶瓷电容薄膜式真空计采用超纯的氧化铝陶瓷薄膜替代传统金属薄膜,使真空测量具有卓越的精确性和可重复性。
·INFICON 与气体类型无关的皮拉尼电容薄膜式真空计在价格低体积小的规管中结合了专利双皮拉尼传感器技术和与气体类型无关的陶瓷电容薄膜技术。
·INFICON B-A 型电容薄膜式真空计使用***个简易仪表、***根接线、***根传感器电缆和***个 A/D 转换器,可测量 13 量***,显著降低复杂性和成本。