INFICON MPG400/MPG401 冷阴极皮拉尼复合真空规
价 格:询价
产 地:美国更新时间:2020-10-27 10:05
品 牌:Inficon型 号:INFICON
状 态:正常点击量:1785
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INFICON复合真空规 (冷阴极和皮拉尼的复合)
型号:MPG400和MPG401,
INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在***个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
优点:
复合真空规—冷阴极与皮拉尼
宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金属密封的馈入件
高压加上时LED指示灯亮
对数模拟输出讯号
应用:
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的压强测量
***般真空测量和控制,从中至高真空范围
产品参数
技术参数:
测量范围 (空气, N2) | 毫巴(乇) | 5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) |
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 | % 读值 | ≈±30% |
重复性1 x 10-8 … 100毫巴 | % 读值 | ≈±5% |
安装方向 | | 任何 |
允许压强 | 巴(绝对) | ≤10 (限于惰性气体) |
允许温度 工作 (室温) 贮存 烘烤 1) 灯丝温度 (皮拉尼) | °C °C °C °C | +5 … +55 –40 … +65 150 120 |
电源电压 | | |
在规管上 | V DC | +15 … +30 |
在供电单元上, 最大电缆长度 2) | V DC | +16 … +30 |
纹波 | Vpp | ≤1 |
功耗 | W | ≤2 |
连接保险丝 | AT | ≤1 |
输出讯号(测量讯号) | | |
电压范围 | V | 0 … +10.5 |
测量范围 | V | +1.82 … +8.6 |
电压与压强的关系 | | 对数, 0.6 V/量级 |
误差讯号 | V | <0.5 (无电源) |
| V | >9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂) |
输出阻抗 | ? | 2 x 10 |
最小负载阻抗 | k? | 10, 短路保护 |
响应时间 p > 10-6 毫巴 | 毫秒 | <10 |
p = 10-8 毫巴 | 毫秒 | ≈1000 |
规管标识 | k? | 85, 参考电源公共点 |
状态 | | |
仅皮拉尼模式 | V | 0 (低) |
复合皮拉尼 / 冷阴极模式 | V | 15 … 30 (高) |
指示灯 | LED 绿色 | 高压on |
电气连接 | | FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型 |
传感器电缆 | | 8芯,加屏蔽 |
电缆长度 | 米 | ≤50 (8 x 0.14 毫米2) |
工作电压 | 千伏 | ≤3.3 |
工作电流 | 微安 | ≤500 |
暴露于真空的材料 | | 不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | 不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W |
内容积 | 厘米3 | ≈20 |
重量 | | |
DN 25 ISO-KF | 克 | ≈700 ≈730 |
DN 40 ISO-KF | 克 | ≈720 ≈750 |
DN 40 CF-F | 克 | ≈980 ≈1010 |
保护级别 | | IP 40 |
标准 | | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |