分子泵应用 Hipace 80
分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体:PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks
工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造
研发:核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、纳米技术、生物技术
上海伯东客户分子泵应用***:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。
Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 80
上海伯东销售维修德***普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵。 Hipace 80 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业。集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等*** IP54、半导体 S2、UL / CSA 认证。通过控制器监控运算数据保证分子泵的***高安全性。涡轮分子泵 Hipace 80 可以任意位置安装。自然风冷,多种配件可选满足广泛应用。
涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数:
分子泵型号 | 接口 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | ***高启动压强mbar | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 |
进气口 | 排气口 | 氮气
N2 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气
N2 | 氮气N2 | hPa | 氮气N2 | min | kg |
HiPace 80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | > 1X1011 | 22 | < 1X10–7 | 1.3 | 1.75 | 2.4 |
分子泵应用 Hipace 80