RHESCA CSR-5000超薄膜附着强度测试仪

基于JIS R-3255标准，以MICRO SCRATCH法评价光学薄膜、半导体扩散工程、表面改质以及记忆媒体等各种用途的薄膜与基材，或薄膜与界面之间的密着力（附着强度）的超薄膜附着强度测试仪。为成膜研究与测试所必备的测试设备。

CSR-5000超薄膜附着强度测试仪特点：

1.CSR-5000采用高感度的能够检测出薄膜破坏的MICRO SCRATCH法，测试纳米***别的薄膜的附着强度。

2.可测量膜厚μm以下的超薄膜的密着强度。

3.加热环境下评价可能。

4.镜片等曲面测量可能。

5.可以进行以特定荷重来评价的特定负荷测试

6.测试部位的设定以及测试后的划伤观察等简单易行

7.测试不需要花费很多时间(1次测试约1～2分钟)

RHESCA超薄膜附着强度测试仪CSR-5000规格

荷重印加范围：1mN ～1500mN

荷重分解能：0.3mN

允许过负荷：300%FS

剥离检出（垂直方向）检出信号，加速度信号

频率范围：20Hz ～10kHz

摩擦力检出（水平方向）检出信号，速度信号

频率范围：20Hz ～10kHz

传感器励振机构励振频率：45Hz

励振振幅：0·5·10·20·40·50·80·100μm

探针 触针形状：1.6×6.5mm

尖端材质 / 尖端形状金刚石R 5?10?15?25?50?100μm

尖端材质 / 尖端形状蓝宝石R 250?500μm

Z 轴驱动机构

驱动范围：20mm

驱动分解能：0.5μm

驱动速度(测试时)0 ～20μm/s

驱动速度(准备时)1mm/s

试料台XY轴移动机构驱动方式:千分尺手动调节

移动范围:±6.5mm

Data输出方式:USB

尺寸及重量:W540×D520×H630 (37kg) 含显微镜

电源:AC100V ～240V

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