压电阀 (PEV-1 )
价 格:询价
产 地:美国更新时间:2020-10-29 13:57
品 牌:Inficon型 号:PEV-1
状 态:正常点击量:1457
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特点
1. 控制模式:开环控制和闭环控制
2. 易于集成:可与***产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高,同时亦可选择进口压强控制仪
3. 响应时间快
4. 性能稳定,压电陶瓷片寿命长
5. 无机械连接件,无伺服马达,无磨损,在断电的情况下可实现自动关闭的特点
产品参数
技术参数
流量 0-500 scmm
响应时间 2 毫秒
集成漏率 5×10-8sml/sec
驱动电压 0-100VCD/0-24VDC
电路连接 标准BNC接头(Q9)
温度范围 100C至600C
最大入口压强 50PSI
重量 800克
产品介绍
精密型压电阀
产品型号:PEV-1
产地:美***KEY HIGH
压电阀是为了适用于要求精确控制气体流量的场合,主要应用领域包括: 磁控溅射,光学镀膜,太阳能电池,ITO,等离子体刻蚀等。