MicronX 设计的有如下特点：
精密的光学系统
变焦， 激光辅助聚焦， 和计算机发生的十字线能对极小的部件和结构精密定位。
应用界面的设计者
用户可用图标板创建专用的应用界面。
报告样板
创建用户的报告格式或者摁***键选用***种专业的质量报告。
XYZ样品台和2M/3M分布图
可编程选项和部件固定的自动成批测量。
图案识别
自动快速和精确。
统计工具
包括平均值， 标准偏差， 百分偏差，Pp/Ppk， Min/Max， 直方图, 趋势线，和R-图。 可将数据传入Excel和其它程序。
部件号编码
可选用部件号或工号为应用编码。
 

更小,更快,更薄
MicronX系统是专门为灵活应用设计的强有力的测量工具。使用Thermo独创的， 技术先进的硬件和软件， MicronX系统能够比其它EDXRF仪器测量更小的面积， 更薄的镀层并且更快。 MicronX系统能够接受***多的金属薄膜测量的挑战。
X-射线能谱技术方面几十年的经验带来了微束X-射线荧光的几点创新：
激发光束的光学准直器可以获得***束特别明亮的的微束X-射线照在样品表面
灵活和精密的样品定位
***新的X-射线检测技术
综合， 易用的操作界面和应用软件
X-射线束准直
光学准直
这***革命性的技术发出小至 20微米， 强度和精度为传统仪器的1000倍。 强度的增加可以减少测量时间—比机械准直快100倍并且精度提高10倍。 光学准直对微束应用是极为重要的， 因为高精度和快速对它是基本的。
精密样品定位
伺服驱动的样品台
为了高精度的样品定位，MicronX系统采用线性编码伺服驱动的X-Y-Z样品台。 定位精度可以达到+/-5或+/-2微米。
硅片样品台有适合于125 mm至300 mm大小硅片的许多插板选购件， 样品台的行程能达到300 mm硅片的任何***点。
专利的真空环境
Thermo专利的真空导管技术包括X-射线束发生和检测系统， 而样品在空气中。 这种独有的设计创造了***种和样品室全部抽真空可以比拟的分辨率和灵敏度， 而且样品操作快速， 方便。