美***InstruTech真空计
InstruTech公司位于美***的科罗拉多州,是致力于真空测量和控制仪器的设计、制造和服务的专业公司。InstruTech公司的真空计采用 进的真空技术设计,可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的测量范围。InstruTech公司的真空计和真空控制器系列产品包括:增强型皮拉尼真空计,热阴 电离真空计(hot cathode Bayard-Alpert)和冷阴 双控磁电离真空计。InstruTech公司的理念是提供多功能, 高可靠性的高性价比真空计。因此,InstruTech所提供的真空计及真空控制器 大程度上节约了成本,从而提高产品的性价比。InstruTech真空计主要用于:半导体制备、薄膜沉积、数据存储设备制造、政府和学术研究机构、分析化学、真空加工、工业中。
产品范围:
美***InstruTech真空计、InstruTech真空控制器、InstruTech、InstruTech电离真空计、InstruTech增强型对流真空计
主要型号:
IGM402、WGM701、IGM401、CCM502、CCM501、BA600、PCM301、CVM201、CVM211、CVG101、CDM900、VSM100、VGC301
B-RAX™ 3000系列:B-RAX 3400、B-RAX 3300、B-RAX 3200
美***InstruTech CCM501冷阴 双反磁控管电离真空计简介:
产品特点:
宽泛的测量范围:1.00E-8 Torr到1.00E-2 Torr
内置控制器及OLED数字显示
用户可根据需求对单位(Torr,mbar,Pa )进行变换
双反磁控管技术提供增强的敏感性
传感器可轻松拆卸清洗
改进传感器信噪比为整个测量范围提供了稳定性
配置3个对数线性模拟输出,3个设定点继电器和标准RS485串行接口
可选择多种尺寸的配件—NW16KF,NW25KF,NW40KF,1 1/3 in. Mini- Conflat®,和2 3/4 in. Conflat®
技术参数:
测量范围
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1×10-8~1×10-2Torr
1.3×10-8~1.3×10-2mbar
1.3×10-6~1.3Pa
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精确度(N2)
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+30%
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重复测量误差
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+5%
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显示
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明亮黄色OLED显示,2位数字+1位指数,可变换单位
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过压保护
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厂***默认设定在5 x 10-10 Torr仪器关闭
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内部容积
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1.965 in3(32.2 cm3)
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温度
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工作温度:0~40℃ 存储环境温度:-40~70℃
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烘烤温度
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150℃(***于表,电子元件不可)
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湿度
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0~95% RH,非冷凝
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重量
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配置NW25KF法兰:1.7 Ib.(0.77kg)
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串行通信接口
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标准 RS485, 小指令间隔:50 ms
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灯丝控制
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选择1个还是2个灯丝工作,通过操作显示屏按钮调节,或者通过RS485串行通讯
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输入功率
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20-28VDC,7.2W(max)
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美***InstruTech BA603电离真空计简介:
产品特点:
电阻热及电子轰击两种除气方式
宽泛的量程 :4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
坚固的双螺旋钨网格
可选择多种法兰接口:3/4 in. and 1 in. diameter Kovar, 25KF, 40KF, 1 1/3 in. Mini-Conflat® and 2 3/4 in. Conflat®
技术参数:
测量范围
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4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
5.3 x 10-10to 1.3 x 10-3 mbar
5.3 x 10-8 to 1.3 x 10-1 Pa
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精确度
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+20% of reading
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X射线 限
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24x 10-11 Torr
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除气-电子轰击
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100W(max)
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除气-电阻热
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6.3-7.5 VAC,10A
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灯丝电流
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4.0-6.0 A
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灯丝电压
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3.0-5.0 V
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灯丝电位
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+30 VDC
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栅 电位
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+180 VDC
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收集 电位
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0V
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烘烤温度
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450℃
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收集
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钨丝,直径0.010 in.
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灯丝
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单根/双根 镀铱(或钨)氧化钇
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栅格
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坚固的双螺旋钨制 0.025 in.
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缘元件
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陶瓷
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长度
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全长 6.0 in.
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可选法兰
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3/4 in. diameter Kovar
1 in. diameter Kovar
NW25KF, NW40KF
1 1/3 in. Mini-Conflat®
2 3/4 in. Conflat®
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美***InstruTech VCG301 真空控制器产品特点:
宽泛的测量范围
可控制CVG101真空传感器
使用更省空间的1/8 针面板
可任意更换单位(Torr/mTorr, bar/mbar, Pa)
1个模拟输出,2个设定点继电器,RS232/RS485串行通讯接口
可以与GP Convectron真空传感器配合使用
VCG301 真空控制器技术参数:
测量范围
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1.0 x 10-4 ~ 1000 Torr
1.3 x 10-4 ~ 1333 mbar
1.3 x 10-2 ~ 133 kPa
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显示
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OLED,4位数字
( 4 位数字从 100mTorr 到 1100Torr ; 3 位数字从 10.0 到 100mTorr ; 2 位数字从 1.0 到 10mTorr )
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显示更新率
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0.5秒
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重量
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9 OZ.(250g)
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工作温度
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0-40℃
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工作湿度
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0-95%,非冷凝
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电子连接器
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真空传感器: 9- 针 D 型 内螺纹
模拟输出和数字串口: 9- 针 D 型外螺纹
继电器输出: 6- 针接线盒
电源:通用的交流和 2- 针直流接线盒
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输入功率
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12-30VDC,2W(max)
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