1．安装简单，操作方便；
2．自成独立系统，可通过锆窗与应用真空系统隔离；
3．参数安全设定，符合CE标准；
4．可持久工作，维护费用低（只需电源和氙气）。

德***AixUV公司是世界上第******提供商用实验室极紫外光源的厂***。公司面向世界范围提供基于等离子体技术的极紫外光，远紫外光和X射线产品。
极紫外光（XUV）的波长在1纳米到50纳米之间，包括了通常所说的软X射线和远紫外光（EUV）。

广泛用于：

●纳米电子器件的实验室制作
●纳米电子工业的光刻和工艺优化（如光刻胶优化）
●作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究
 

1．2 J / pulse electrical input
2．> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
3．< 500 mm source diameter FWHM
4．> 50 Hz Reprate
5．Permanent operation 7 days / 24 h
6．Guaranteed 100.000.000 pulses；
Tested up to 230.000.000（> 1200 hours）
7．Flexible head orientation