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产地：上海更新时间：2024-11-20 09:48

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Brooks Instrument去离子水蒸汽输送模块VDM300

Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计，能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术，并结合了进的数字控制和集成诊断功能，集成在个小巧，方便的外壳中。

产品特点