easyScan DFM提供以下几种测量模式
静态力模式
动态力模式
相位对比模式
力调制模式
easyScan DFM的关键特点：                                
允许快速的、在原位无破坏性的、高分辨率的处理控制。
设计小巧、紧凑；使用简便、舒适
所有的功能可以在***台计算机上进行
独立的；适合大、小形状各异的样品
样品自动进场
与标准计算机串行端口连接（不需要接口卡）
特殊的扫描仪设计，确保低震动灵敏度

1. 两种可供选择的扫描头
(1)  大扫描范围                                                               
最大扫描范围：X和Y方向110um x 110um
xy轴分辨率： 1.7nm
最大扫描范围：  Z方向22um
z轴分辨率： 0.34nm
Z噪标准（RMS）：<0.4nm
(2)  高分辨率
最大扫描范围：X和Y方向10um*10um
xy轴分辨率：0.15nm
最大扫描范围：Z方向1.8um
z轴分辨率：0.027nm
Z噪音标准（RMS）：<0.07nm
扫描速度：1800个数据点/秒
传感半径：<15nm
典型负载：  10nN
扫描仪质量：350g
反馈回路宽带：3kHz
自动进场范围：5mm
没有使用危险的高电压
电子控制器
数据采集时，可以和任何标准计算计串行端口连接
三个轴都有16位的数据收集与控制系统
轴输出电压：+12V
扫描速度：1-20分/框
1024样品/直线
动态频率范围：15-300KHz
动态频率分辨率：15-300KHz
外部电源
功率消耗量25VA
电子控制器质量2.5kg
软件
软件在Windows 9x/ME 或者 NT/2000/XP操作系统上运行
测量数据可以实现可视化
不同的窗体的扫描数据可以被同时显示
线观察，点观察，三维观察
在线数学计算功能（减，平均值等等）
类似于粗糙度（Ra，Rq）、顶点剖面、厚度、距离和几何分析的数据分析
可以实现多数据输出
定制显示器、工作场所
安装非常简便