•强大的缺陷检查能力
•采用了新颖的光学系统，特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力
•明视场图像的色温*佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍
•物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈
•提高了观察速度并减轻疲劳
•MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF
•新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性
•在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦
•在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合
•可以在***台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察
•观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择*可以
•显微镜控制软件作为核心对MX61A系统全体进行控制
•采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换
•采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架
•即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况
•只要选择观察方法，*能得到基于登录条件的*合适的观察影像
•新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求
•备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台
•通过PC控制，可以实现高***检查、不良分析功能

•MX61A是*专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作
•有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品***体化
•始终提供*佳观察影像的光学系统
•提供扩展性的解决方案
•实现对人和环境都没有危害的自动化
•帮助实现多种观察的附件
•自动调节*佳亮度
•对应各种设备的实时AF
•对应多种观察方法
•软件进***步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求
•符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性
•备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器
•可以触摸屏操作的手控开关